超純水拋光樹脂是由氫型強酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強性陰離子交換樹脂混合而成。超純水拋光樹脂一般用于超純水處理系統末端，來保證系統出水水質能夠維持用水標準。一般出水水質都能達到18兆歐以上，以及對TOC、SIO2都有一定的控制能力。超純水拋光樹脂出廠的離子型態都是H、OH型，裝填后及可使用無需再生。一般用于半導體行業。

　　超純水拋光樹脂的安裝程序：

　　1、向樹脂罐中加水使液位高度在200-300mm或僅沒過底部布水管，以防止裝填樹脂過程中底部排水裝置受到沖擊。如果設備尺寸較小而擬采用樹脂以漿水混合的方式填裝也可不必事先加水。

　　2、將樹脂裝入樹脂罐，可以直接將樹脂從原包裝袋中加入或在原包裝容器中加入一些水成漿狀裝入樹脂容器。裝填過程中注意以下事項：

　?、俳褂萌魏螜C械泵轉移樹脂，許多類型的泵都會對樹脂造成損害或帶來一些污染。

　?、跇渲b填過程中，不要同時打開兩袋以上的樹脂。以大限度減少樹脂接觸空氣的時間，也使外來雜質污染樹脂的可能性降到zui低。

　?、垩b填過程中隨著裝填料位的增加，樹脂層面以上的水也會逐漸增加，如果水位高度高于樹脂層面300mm以上，必須將多余的水抽出或排掉，以避免樹脂在水中緩慢沉降而出現分層。但同時也需避免出現液位放干的情況，這會使空氣在樹脂層中形成氣栓而影響出水。

　　一旦出現樹脂分層或形成氣栓的情況影響出水，可采用清潔的壓縮氮氣自罐底通入，使樹脂充分混合后即可再次通水使用。

　?、軕獙渲匏褂玫南鹉z密封圈及集水器等零部件做好檢查，如有破損必須更換。如集水器出現裂隙堵塞或串片松動，應做排除。

　　樹脂裝填到位后，注入高純水使罐內充滿。后封裝上蓋，并將管線連接到位。接上管線后，應先將桶槽上端的通氣孔打開，緩慢的開進水，直至通氣孔溢水且不再有氣泡產生后，將通氣孔緊閉，開始采水。

　　3、樹脂裝填完成后，應完全浸泡在水中少4小時。如果可能的話，好浸泡過夜。

　　4、后檢查各部件及管線連接無誤后，即可開啟閥門采水。新裝填的樹脂在投運初期有一個沖洗過程，此階段出水電阻率將逐步升高。視現場情況的不同，沖洗時間可能持續幾十分鐘到幾個小時。